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前言

本規范是根據建設部“關(guān)于印發(fā)《2005年工程建設標準規范制訂、修訂計劃(第二批)》的通知”(建標函〔2005〕124號)的要求，由中國電子工程設計院會(huì )同有關(guān)單位編制完成的。本規范在編制過(guò)程中，編制組結合我國電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房設計建造和運行的實(shí)際情況，進(jìn)行了廣泛的調查研究，收集整理相關(guān)的專(zhuān)題報告、測試資料，認真

1、總則

1??總????則1.0.1??為在電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房設計中，做到技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟適用、安全可靠、節約資源、降低能耗、確保質(zhì)量，并符合勞動(dòng)衛生和環(huán)境保護的要求，制定本規范。1.0.2??本規范適用于新建、擴建和改建的電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房設計。1.0.3??電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房的設計應滿(mǎn)足需潔凈環(huán)境的電子產(chǎn)品生產(chǎn)

2、術(shù)語(yǔ)

2??術(shù)????語(yǔ)2.0.1??潔凈室??clean?room空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內誘入、產(chǎn)生及滯留粒子。室內其他有關(guān)參數如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。2.0.2??潔凈區??clean?zone空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應減少空間內誘入、產(chǎn)生及滯留粒子

3、電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設計要求

3??電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設計要求3.1??一般規定3.1.1??電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房生產(chǎn)環(huán)境的設計應根據生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和對產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì)，同時(shí)還應提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動(dòng)、靜電防護、照度等參數要求。3.1.2??生產(chǎn)環(huán)境設計應根據產(chǎn)品品種及生產(chǎn)工藝要求，對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程需用的包括化

4、總體設計

4.1 位置選擇和總平面布置4.1.1 潔凈廠(chǎng)房位置的選擇，應根據下列要求經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較后確定：1 應布置在大氣含塵和有害氣體或化學(xué)污染物濃度較低、自然環(huán)境較好的區域;2 應遠離鐵路、碼頭、飛機場(chǎng)、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體或化學(xué)污染物的工廠(chǎng)、貯倉、堆場(chǎng)等有嚴重空氣污染、振動(dòng)或噪聲干擾或強電

5、工藝設計

5 工藝設計5.1 一般規定5.1.1 潔凈廠(chǎng)房的工藝設計、工藝布局應為電子產(chǎn)品發(fā)展以及產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)預留必要的條件。5.1.2 潔凈廠(chǎng)房工藝設計應確定各種生產(chǎn)條件，在滿(mǎn)足電子產(chǎn)品生產(chǎn)要求的前提下，應做到安全性能好、建設投資少、能量消耗少、運行費用低、生產(chǎn)效率高。5.1.3 潔凈廠(chǎng)房工藝設計

6、建筑設計

6.1 一般規定6.1.1 潔凈廠(chǎng)房的建筑平面和空間布局，應根據電子產(chǎn)品發(fā)展以及生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)規模的要求確定。6.1.2 潔凈廠(chǎng)房的主體結構宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不應采用內墻承重體系。6.1.3 潔凈廠(chǎng)房的立面設計應簡(jiǎn)潔、明快，并應適應潔凈室(區)的布置要求。潔凈廠(chǎng)房圍護結構的材料選型應滿(mǎn)足保溫

7、空氣凈化和空調通風(fēng)設計

7 空氣凈化和空調通風(fēng)設計7.1 一般規定7.1.1 潔凈廠(chǎng)房?jì)雀鳚崈羰?區)的空氣潔凈度等級，應根據電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)和潔凈室型式確定。7.1.2 氣流流型應根據各潔凈室(區)空氣潔凈度等級和電子產(chǎn)品工藝特點(diǎn)的不同要求選用。7.1.3 有下列情況之一者，凈化空調系統宜分開(kāi)設置：1 運行班次或使用時(shí)間不

8、給水排水設計

8 給水排水設計8.1 一般規定8.1.1 潔凈廠(chǎng)房的給水排水干管應敷設在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內，并宜敷設在通行的技術(shù)夾層內。條件合適時(shí)，也可埋地敷設。潔凈室(區)內管道宜暗裝，與本房間無(wú)關(guān)的管道不應穿過(guò)。8.1.2 穿過(guò)潔凈室的水管道，應根據管內水溫和所在房間的溫度、濕度確定隔熱防結露措施。當采取隔熱防

9、純水供應

9 純水供應9.1 一般規定9.1.1 電子產(chǎn)品生產(chǎn)用純水系統的選擇，應根據原水水質(zhì)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對水質(zhì)的要求，并結合系統規模、材料及設備供應等情況，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較確定。9.1.2 純水的輸送干管應敷設在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內;潔凈室(區)內的純水支管宜暗裝。9.1.3 穿越潔凈室(區)墻壁、樓板、頂棚的純水管